15:45 〜 16:00 △ [15p-311-10] 酸化物DSAに向けた酸化物薄膜の自己組織化ナノ構造に与えるテンプレートパターンの影響 〇譚 ゴオン1、李 明宇1、中川原 修2、服部 梓1、田中 秀和1 (1.阪大産研、2.株式会社村田製作所)