11:00 〜 11:15 [15a-F201-8] 酸素雰囲気での超高温RTPによる点欠陥の導入挙動の検討 (II) 〇中村 浩三1、岡村 秀幸3、前田 進3、須藤 治生3、末岡 浩治2 (1.岡山県大 地共研、2.岡山県大 情報工、3.グローバルウェーハズ・ジャパン)