16:00 〜 16:15 △ [15p-311-11] V溝パターン基板上の擬VLS法によるIn2O3グラフォエピタキシャル成長 〇呉 東広平1、吉松 公平1、大友 明1,2 (1.東工大物質理工、2.元素戦略)