11:30 〜 11:45 [15a-412-10] 同軸型アークプラズマ堆積法により成膜した超ナノ微結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン混相膜の窒素添加効果 〇儀間 弘樹1、片宗 優貴2、大谷 亮太3、小泉 聡3、吉武 剛1 (1.九大、2.九工大、3.物材研)