09:15 〜 09:30 [15a-F201-2] 炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(2)ー 常温接合プロセスにおける水素のパッシベーション効果 ― 〇古賀 祥泰1、栗田 一成1 (1.株式会社 SUMCO)