14:45 〜 15:00 [14p-F201-5] 電子線照射発光活性化後のフォトルミネッセンス評価によるシリコン中炭素濃度の定量手法開発 〇中川 聰子1、永井 勇太1 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)