13:45 〜 14:00 [14p-423-3] 化学増幅型レジストへのスルホン化合物の添加効果 〇岡本 一将1,2、藤井 槙哉1、山本 洋揮2、古澤 孝弘2、井谷 俊郎3 (1.北大院工、2.阪大産研、3.EIDEC)