14:00 〜 14:15 [16p-E206-2] 枚葉スピン方式を用いたフッ硝酸Siエッチングプロセス挙動解析(2) 〇大井上 昂志1、齋藤 卓2、奥山 敦2、萩本 賢哉2、岩元 勇人2 (1.ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング、2.ソニーセミコンダクタソリューションズ)