11:45 〜 12:00 [15a-F201-11] 多機能走査型プローブ顕微鏡によるSiCショットキー障壁ダイオードの評価パワーデバイス用結晶の評価(ⅩⅩⅠ) 〇山本 秀和1、潤間 威史1、佐藤 宣夫1 (1.千葉工大工)