11:15 〜 11:30 [15a-F201-9] 超高温RTPによるCz-Siウェーハのボイド欠陥消滅挙動の検討 〇須藤 治生1、中村 浩三3、前田 進1、岡村 秀幸1、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県大 情報工、3.岡山県大 地域共同研究機構)