14:15 〜 14:30 △ [14p-316-5] 水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性 〇(B)城井 智弘1、山本 雅史1、長岡 史郎1、鹿間 共一1、梅本 宏信2、大平 圭介3、西山 聖4、堀邊 英夫4 (1.香川高専、2.静大、3.北陸先端大、4.大阪市大)