13:30 〜 15:30 △ [16p-P8-23] a-InGaZnO薄膜の熱電特性に対する成膜条件と熱処理温度の影響 〇瀬名波 大貴1、上沼 睦典1、多和 勇樹1、石河 泰明1、浦岡 行治1、足立 秀明1 (1.奈良先端大)