15:00 〜 15:15 [14p-317-7] Pd/GeO/Geダイオード型水素ガスセンサに用いるGeO膜厚のX線反射率法による測定 〇奥山 澄雄1、田中 篤1、小原 壮太1、松下 浩一1 (1.山形大学工学部)