16:30 〜 16:45 [14p-423-13] ビルトインレンズマスクによる3次元フォトリソグラフィの検証 田中 利樹1、杉原 大貴1、笹子 勝1、菊田 久雄1、川田 博昭1、〇平井 義彦1 (1.阪府大工)