11:30 〜 11:45 [17a-301-10] 4H-SiC C面熱酸化膜のリーク伝導機構に対する窒化処理の影響 〇木内 祐治1,2、染谷 満1、岡本 大3、畠山 哲夫1、原田 信介1、矢野 裕司3、米澤 喜幸1、奥村 元1 (1.産総研、2.新日本無線、3.筑波大学)