16:00 〜 16:15 △ [14p-512-9] 液中レーザー溶融法によるシリコンサブミクロン球状粒子生成に及ぼすフッ酸処理の効果 〇若月 雄哉1、越崎 直人1、石川 善恵2 (1.北大工、2.産総研)