09:15 〜 09:30 [16a-E206-2] ミニマルレーザ加熱熱酸化膜のウェハ面内均一性評価(2) 〇佐藤 和重1、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、池田 伸一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ技術研究組合、2.産総研、3.坂口電熱)