12:45 〜 13:00 [17p-313-1] ヘキサメチルジシランの解離フラグメントの低エネルギーイオンビーム生成とシリコンカーバイド成膜 〇吉村 智1、杉本 敏司1、木内 正人1,2 (1.阪大工、2.産総研)