13:30 〜 15:30 [17p-P3-14] Ga蒸気を用いるGaN薄膜の化学気相成長の基礎的検討 〇(M1)長瀬 剛1、深澤 研介1、増田 裕一郎1、光野 徹也1、小南 裕子1、原 和彦2,3 (1.静岡大工、2.創造科学技術大学院、3.静岡大電子研)