15:15 〜 15:30 △ [15p-412-8] ラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法においてガス滞在時間がアモルファスカーボン膜の電子物性に及ぼす効果 〇杉浦 啓嗣1、賈 凌雲1、近藤 博基1、石川 健治1、竹田 圭吾1、関根 誠1、堀 勝2 (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構)