09:30 〜 09:45
〇(B)田中 希1、諏訪 輝1,2、中村 大輔1、佐道 泰造1、池上 浩1,2 (1.九州大、2.九州大ギガフォトン共同部門)
田中 希
発表者・著者、共著者
2017年3月14日(火) 09:15 〜 12:00 304 (304)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年3月14日(火) 09:15 〜 12:00 304 (304)
09:30 〜 09:45
〇(B)田中 希1、諏訪 輝1,2、中村 大輔1、佐道 泰造1、池上 浩1,2 (1.九州大、2.九州大ギガフォトン共同部門)