13:30 〜 15:30 [14p-P1-12] 誘導結合型プラズマ支援RFスパッタリングによる非晶質Si薄膜の作製 〇(M1)沈 同柱1、石井 優輝1、金子 哲也1、桑畑 周司1、沖村 邦雄1、進藤 春雄2、磯村 雅夫1 (1.東海大院工、2.プラズマ理工学研)