13:30 〜 15:30
〇山根 大輔1,4、小西 敏文2、佐布 晃昭2、中島 英亮1,4、寺西 美波1,4、陳 君怡1,4、Chang Tso-Fu Mark1,4、曽根 正人1,4、年吉 洋3,4、益 一哉1,4、町田 克之1,2,4 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大、4.JST-CREST)
山根 大輔
発表者・著者、共著者
2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P3 (展示ホールＢ)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術