13:30 〜 15:30
〇(M2)坂田 将1、引地 広介2、平野 栄樹1、田中 秀治1 (1.東北大工、2.テクノファイン)
坂田 将
発表者・著者、共著者
2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P3 (展示ホールＢ)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P3 (展示ホールＢ)
13:30 〜 15:30
〇(M2)坂田 将1、引地 広介2、平野 栄樹1、田中 秀治1 (1.東北大工、2.テクノファイン)