櫛部光弘

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発表者・著者、共著者

2017年3月15日(水) 09:00 〜 12:15 F204 (F204)

一般セッション(口頭講演)
| 15 結晶工学
| 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15a-F204-1~12] 15.6 IV族系化合物（SiC）

11:30 〜 11:45

[15a-F204-10] 低不純物濃度４H-SiC C面エピタキシャル膜のキャリアライフタイム

〇櫛部光弘¹、西尾譲司¹、四戸孝¹、宮坂晶²、浅水啓州³、北井秀憲²、原田信介²、児島一聡² (1.㈱東芝、2.産業技術研究所、3.ローム（株）)