11:00 〜 11:15 [15a-F204-8] 4H-SiCマイクロトレンチ埋込エピタキシャル成長における律速過程 〇望月 和浩1、紀 世陽1、小杉 亮治1、米澤 喜幸1、奥村 元1 (1.産総研)