09:30 〜 11:30 [15a-P8-12] ミストデポジション法における最適吹付け角度の検討とシリコン酸化膜の成膜 〇平松 考樹1、香取 重尊1、織田 真也2、人羅 俊実2 (1.津山高専、2.㈱フロスフィア)