15:00 〜 15:30 [15p-301-5] 窒化物系結晶成長におけるプラズマ応用 〇小田 修1、加納 浩之2、田 昭治3、近藤 博基1、堀 勝1 (1.名大工、2.NU-Rei(株)、3.(株)片桐エンジ)