17:30 〜 17:45 [15p-304-9] ULSI-Cu配線の信頼性向上に向けた極薄PVD-Co(W)単層バリア/ライナーの特性評価 〇(PC)金 泰雄1、百瀬 健1、松尾 明2、清野 拓哉2、霜垣 幸浩1 (1.東大院工、2.キヤノンアネルバ株式会社)