16:30 〜 17:00 [15p-419-7] 加速器用ビームダクトへのTiNコーティング 〇柴田 恭1,2、末次 祐介1,2、石橋 拓弥1,2、白井 満1、照井 真司1、金澤 健一1,2、久松 広美1 (1.高エネ研、2.総研大)