13:30 〜 15:30 [15p-P3-16] 基板バイアス印加スパッタ法によるAl-doped ZnO薄膜の低温成長に関する研究 〇(M1)譲原 一樹1、佐藤 賢太1、星野 寛明1、沖村 邦雄1、安森 偉郎2 (1.東海大院工、2.東海大学教開研セ)