12:00 〜 12:15 [16a-E206-13] ミニマルファブによるハーフインチサイズパッケージの電気的特性 〇居村 史人1,2、古賀 拓哉2、井上 道弘1、猿渡 新水1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合)