10:00 〜 10:15
〇池田 伸一1,2、石田 夕起1,2、三ケ原 孝則1,2、三浦 典子2、伊藤 孝宏3、羽深 等4、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技組、3.オリエンタルモーター、4.横国大)
池田 伸一
発表者・著者、共著者
2017年3月16日(木) 09:00 〜 12:15 E206 (E206)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年3月16日(木) 09:00 〜 12:15 E206 (E206)
10:00 〜 10:15
〇池田 伸一1,2、石田 夕起1,2、三ケ原 孝則1,2、三浦 典子2、伊藤 孝宏3、羽深 等4、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技組、3.オリエンタルモーター、4.横国大)