10:45 〜 11:00
〇クンプアン ソマワン1,2、梅山 規男1,2、田中 宏幸1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
クンプアン ソマワン
発表者・著者、共著者
2017年3月16日(木) 09:00 〜 12:15 E206 (E206)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年3月16日(木) 09:00 〜 12:15 E206 (E206)
10:45 〜 11:00
〇クンプアン ソマワン1,2、梅山 規男1,2、田中 宏幸1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)