16:15 〜 16:30 [16p-412-12] ヘテロ構造リフトオフ(HELLO)法による極薄GeOI 構造 〇前田 辰郎1、張 文馨1、入沢 寿史1、石井 裕之1、服部 浩之1、倉島 優一1、高木 秀樹1、内田 紀行1 (1.産総研)