15:15 〜 15:30 [16p-412-9] 低加速BF2イオン注入を用いたGeOI TFETのオン電流の向上 〇加藤 巧1、松村 亮1,2、高口 遼太郎1、竹中 充1、高木 信一1 (1.東京大学、2.学振特別研究員)