Xu Wang

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発表者・著者、共著者

2017年3月16日(木) 14:00 〜 17:00 413 (413)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.3 絶縁膜技術

[16p-413-1~11] 13.3 絶縁膜技術

6.1と13.3と13.5のコードシェアセッションあり

14:45 〜 15:00

▼ [16p-413-4] Study of Thermal Oxidation Mechanism of Germanium

〇(D)Xu Wang¹、Nishimura Tomonori¹、Yajima Takeaki¹、Toriumi Akira¹ (1.Univ. of Tokyo)