15:30 〜 15:45 [17p-211-8] レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡によるAlO/Si膜の電界効果パッシベーションの評価 〇望月 敏光1、伊藤 明2、棚橋 克人1、中西 英俊2、川山 巌3、斗内 政吉3、白澤 勝彦1、高遠 秀尚1 (1.産総研、2.SCREEN、3.阪大レーザー研)