16:00 〜 16:15 [17p-304-12] TCADを用いた強誘電体負性容量FinFETの短チャネル効果の検討 〇太田 裕之1、池上 努1、服部 淳一1、福田 浩一1、右田 真司1、鳥海 明2 (1.産総研、2.東大工)