齋藤真澄

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座長等

2017年3月17日(金) 13:00 〜 17:00 304 (304)

一般セッション(口頭講演)
| CS コードシェアセッション
| CS.2 6.1強誘電体薄膜,13.3絶縁膜技術,13.5デバイス／集積化技術のコードシェア

[17p-304-1~15] CS.2 6.1強誘電体薄膜,13.3絶縁膜技術,13.5デバイス／集積化技術のコードシェア

齋藤真澄(東芝)、藤沢浩訓(兵庫県立大)