[14a-213-1~12] 6.4 薄膜新材料

[14a-213-6] 強磁場スパッタ法によるMn₃CuN薄膜の作製と電気・磁気特性

〇松本 利希¹、浦田 隆広¹、畑野 敬史¹、飯田 和昌¹、生田 博志¹ (1.名大工)

キーワード：薄膜、スパッタリング、逆ペロブスカイト