[14a-313-1~12] 12.1 作製・構造制御

[14a-313-8] 有機表面からの金属原子離脱に基づくレアメタルの3次元高効率集積蒸着

〇(B)王 陸¹、松本 彩希¹、西村 涼²、内田 欣吾²、辻岡 強¹ (1.阪教大、2.龍谷大理工)

キーワード：真空蒸着、希少金属、低ガラス転移点

真空蒸着法は金属薄膜形成技術として広く利用されているが、蒸着時の金属蒸着ロスが問題である。我々は低いガラス転移点(Tg)を有する有機材料上での金属原子離脱現象について報告してきた。今回我々は、低Tg高分子材料からの離脱減少を利用し高効率金属集積蒸着を実証した。また、この集積蒸着法により1回のバッチプロセスで立体構造物の全面に膜形成できる3D蒸着も実証した。