[14a-419-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [14a-419-3] 反応性スパッタ法により作製したTiO_x系ReRAMの電気特性評価

〇福本 泰士¹、勝村 玲音¹、福地 厚¹、有田 正志¹、高橋 庸夫¹ (1.北大院情報)

キーワード：半導体、ReRAM、TiOx