[14a-502-1~10] 21.1 Joint Session K

[14a-502-2] Crystal Orientation of beta-Ga₂O₃ Thin Films Formed on MgO Substrates

〇Shinji Nakagomi¹, Yoshihiro Kokubun¹ (1.Ishinomaki Senshu)

Keywords:Ga2O3, crystal orientation

立方晶であるMgO基板の (100),(111),(110)の各面上に形成した酸化ガリウムβ-Ga₂O₃の結晶配向についてのMiらの報告の検証を行った結果、(110)基板上に関しては、基板表面の回転ドメインの振る舞いが90度ずれており、β-Ga₂O₃ [010]⊥MgO[001]であることが分かった。