[14a-503-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[14a-503-1] 金属触媒層を用いたAlN層上へのhBN薄膜スパッタ成長

〇太田 実雄^1,2、藤岡 洋^1,3 (1.東大・生研、2.JST-さきがけ、3.JST-ACCEL)

キーワード：hBN、AlN、金属触媒