2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[14a-503-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

2017年3月14日(火) 09:00 〜 12:15 503 (503)

荒木 努(立命館大)、太田 実雄(東大)

09:00 〜 09:15

[14a-503-1] 金属触媒層を用いたAlN層上へのhBN薄膜スパッタ成長

太田 実雄1,2、藤岡 洋1,3 (1.東大・生研、2.JST-さきがけ、3.JST-ACCEL)

キーワード:hBN、AlN、金属触媒