[14a-512-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[14a-512-5] 金薄膜へのCO₂レーザー照射によるナノ構造化

Maurya Sandeep¹、宇都 裕貴¹、〇中嶋 隆¹ (1.京大エネ研)

キーワード：金薄膜、レーザー照射、ナノ構造化

我々はガラス基板上の金ナノ薄膜（厚さ5-10nm）に数mm径の非集光CO₂レーザー（波長10.6μm, 出力1-6W）を照射することによってナノ構造化した。レーザー出力が6Wの場合、わずか20秒の照射で十分なナノ構造化の起こることが消光スペクトルの変化から確認できた。