[14a-F201-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[14a-F201-11] シリコン結晶中の自己拡散機構

〇末澤 正志¹、飯島 嘉明¹、米永 一郎¹ (1.東北大金研)

キーワード：シリコン、自己拡散、空孔

シリコン結晶中の自己拡散は、空孔機構と格子間原子機構で起こっていることが知られている。しかし、空孔や格子間原子の性質が実験的には未解明であったために、両機構がどのように関与しているか不明であった。また、拡散定数測定も不純物の影響が大きく、確かなデーターが長い間得られなかった。最近確からしい拡散データーが得られた。そのデーターを、我々が求めた空孔および格子間原子の性質を使って解析し、両機構の寄与を確定することが出来た。