[14a-F201-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[14a-F201-7] 長時間引き上げ停止したCZ Si結晶（Ⅳ）ー転位群と酸素析出―

〇阿部 孝夫¹、高橋 徹¹ (1.信越半導体)

キーワード：CZシリコン、点欠陥