[14a-F202-1~12] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

△ [14a-F202-4] 自由キャリア吸収を用いた電気-プラズモン変調器

〇樋口 竣一¹、伊藤 基¹、石井 佑弥¹、福田 光男¹ (1.豊技大)

キーワード：表面プラズモン、自由キャリア吸収、変調器

近年，電子集積回路では微細化に伴う配線遅延等が問題となっている．解決策として，光子と電子を信号キャリアに用いる光電子集積回路が注目されている．表面プラズモン(SP)は伝搬光よりも微小に光を局在化できるため，光電子集積回路の高密度化を実現できる可能性がある．本発表では，電子回路とSP回路を接続する電気-SP変調器を自由キャリア吸収を用いてCMOSに近い構造・プロセスで作製・動作検証したため報告する．