[14p-318-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [14p-318-3] 固相成長による単結晶Si基板上への結晶SiGe薄膜のエピタキシャル成長に関する検討(Ⅱ)

〇(M2)ハムド アラー¹、金子 哲也¹、磯村 雅夫¹ (1.東海大院工)

キーワード：エピタキシャル成長、SiGe、Si基板